Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고

이 사업은 산업혁신기반구축사업(R&D)의 일환으로, EUV 검사기 인프라를 활용해 EUV 소재 제조공정 고도화와 상용화를 지원하는 기술지원 프로그램입니다. 선정된 기업은 시제품 제작, 공정 개발, 기술지도, 물성평가와 같은 실무형 지원을 받을 수 있으며, 신규 구축 장비와 기존 장비를 활용한 분석도 제공됩니다. 지원 대상은 전국의 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업입니다. 기업당 최대 1,500만원 범위에서 지원되며 총 3개사만 선정됩니다. 단순 교육형 사업이 아니라 기술개발·공정개선 중심의 과제형 지원이라서, EUV 관련 기술 아이템과 구체적인 결과물을 제시할 수 있는 기업에 적합합니다.